0.5噸（dūn）/小時超純水設備

超純水（shuǐ）概念

超純水是為（wéi）了研製超純材料(半導體原（yuán）件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨（lín）界（jiè）精細技術生產出來的水，其電阻率大於18MΩ·cm，或接近（jìn）18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中除了水分子外，幾乎沒（méi）有什麽雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也（yě）沒（méi）有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和（hé）氫以外所有原子的水。

工藝流程

（1）原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→自動加藥阻垢（gòu）裝置→保安（ān）過濾器→雙級反滲透（tòu）膜組→RO純水箱→RO純水泵（bèng）→紫（zǐ）外殺菌器（qì）→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光（guāng）混床→微（wēi）孔（kǒng）過濾器→用水點  

（2）原水箱→原水泵→超濾裝置→超濾水箱（xiāng）→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過（guò）濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降（jiàng）解（jiě）儀→核級（jí）拋（pāo）光混床→微（wēi）孔過濾器→用水點  

特別說明：

超純水在製備超純（chún）水後，要（yào）求（qiú）輸送管道不能有析出物對超純水形（xíng）成二次汙染，否則將導致被清洗的芯片或電子設備受到汙染而報廢。金屬管道不可避免有金屬離子析（xī）出，隻有（yǒu）塑料管道較少（塑料材質管道需要控製TOC析出）。此類管道大多是安（ān）裝在純水車間的純水設備及純水車間到各用水車間點位上，連（lián）接方式也是粘接，需要clean-PVC專用膠水。在超純水係統中，一般終端管道采用（yòng）clean-PVC。